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氨氣/乙烯混合氣的作用

文章出處:責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2014-09-15 08:41:00【

  混合氣是指2種或2種以上氣體的混合氣體,混合氣體通常被當作理想氣體研究,由不同成因或不同成份組成的天然氣的混合物?;旌蠚獾挠猛径喾N多樣,無論是焊接、激光、醫學還是航空航天都離不開混合氣。今天紐瑞德特氣為大家介紹一下氨氣/乙烯混合氣在制備碳薄膜上的作用。

 

混合氣-紐瑞德特氣

 

  以電漿輔助化學氣相沉積法沉積n型非晶質碳薄膜于p型硅晶片,并探討不同NH3/C2H4比例以及不同退火溫度對碳薄膜性質及a-C:N/p-Si元件之影響。本實驗利用光發射光譜儀、場發射掃描式電子顯微鏡、拉曼散射光譜儀、傅立葉轉換紅外光光譜儀、X光光電子能譜、紫外/可見/紅外光光譜儀來進行電漿診斷、薄膜厚度、微觀結構與光學性質的量測。由電流電壓量測系統進行a-C:N/p-Si元件之電流電壓曲線量測。研究結果發現,當NH3/C2H4比例由0增加至1時,碳膜沉積速率、有序程度及光學能隙值下降,C-N鍵結、N/C比、sp2 C-C含量以及a-C:N/p-Si元件之順向電流密度值增加。退火溫度由300℃增加至375℃時,碳膜內懸吊鍵含量減少、sp2 C-C相對含量增加、光學能隙值下降,碳膜趨向類石墨結構。在退火溫度350℃以上,sp2 C-C含量以及光學能隙值有較明顯變化;而在退火溫度325℃時則有最高順向電流密度值。最后,由實驗結果發現,在NH3/C2H4比例為1、退火溫度為325℃時,a-C:N/p-Si元件具有最高順向電流密度值9.0 mA/cm2以及最佳理想因子值2.0。

 

  小常識:

 

  氨(Ammonia,即阿摩尼亞),或稱“氨氣”,分子式為NH3,是一種無色氣體,有強烈的刺激氣味。氨有很廣泛的用途,同時它還具有腐蝕性等危險性質。由于氨有廣泛的用途,氨是世界上產量最多的無機化合物之一。

 

  乙烯氣體是由兩個碳原子和四個氫原子組成的化合物。兩個碳原子之間以雙鍵連接。乙烯是合成纖維、合成橡膠、合成塑料(聚乙烯及聚氯乙烯)、合成乙醇(酒精)的基本化工原料,也用于制造氯乙烯、苯乙烯、環氧乙烷、醋酸、乙醛、乙醇和炸藥等。

 

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