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四氟化碳是什么?有什么用?

文章出處:責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2019-07-25 11:25:00【

 

四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無機化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩定,但是需要避免接觸強氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃氣體,如果遇到高熱后會造成容器內壓增大,有開裂、爆炸危險。通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發生作用。
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄露檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面都有著大量的應用。
 
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